halbleiter.jpg H.C. Starck Ceramics, das auf technische Keramiken spezialisierte Unternehmen der H.C. Starck Gruppe, ist ein führender Hersteller von Keramikkomponenten und besitzt langjährige Erfahrung in der Produktentwicklung und -herstellung, insbesondere für die Mikroelektronikindustrie.

Wir bieten eine einzigartige und umfassende Produktpalette an Keramiken auf Aluminiumoxid-, Zirkoniumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumcarbidbasis an. Wir verfügen über die notwendigen Ressourcen, um komplexe kundenspezifische Komponenten mit hoher Präzision herzustellen und geschützte Herstellungsverfahren einzusetzen. Wir sind zugelassener Lieferant von Ausrüstung für die 300 mm Produktionslinie und die 450 mm Pilotlinie.


Materialien und Komponenten für die Halbleiterproduktion

Verfahrensbereich
Komponenten
Material
Lithografie
Elektrostatische Einspannvorrichtung für Si-Wafer
Lager
Bauteile für die Röntgenlithographie (Extreme Ultra Violet (EUV))
StarCeram® Si (SiSiC)
StarCeram® A (Al2O3)                                                                                               
Ätzverfahren
Shower Heads
Fokusringe
Hauben für Prozesskammern
Plasma-Abschirmungen
StarCeram® A (Al2O3
StarCeram® S (SSiC)
StarCeram® N (Si3N4)

CVD und PVD
Bauteile für die Verteilung reaktiver Gase
Abdeckringe
Kammereinsätze
StarCeram® A (Al2O3)
StarCeram® S (SSiC)
StarCeram® N (Si3N4)

Hochtemperaturdiffusion, RTP und Niederdruck-CVD (LPCVD)
Auskleidungen und Prozessrohre
Sockel
Einspritzdüsen
StarCeram® Si (SiSiC)
StarCeram® S (SSiC)

Implantation
Isolatoren
Abschirmungen
StarCeram® A (Al2O3)

Prüf- und Messtechnik
Elektrostatische Einspannvorrichtung für Si-Wafer
Ausdrückstifte
StarCeram® Si (SiSiC)
StarCeram® S (SSiC)
StarCeram® A (Al2O3)
StarCeram® N (Si3N4)
StarCeram® Z (ZrO2)


Ersatzteile und technische Überarbeitungen für die Halbleiterindustrie

gleitringe.pngH.C. Starck Ceramics produziert ebenfalls maßgeschneiderte Ersatzteile für Halbleiteranlagen, denn die Präzisionsherstellung ist eine unserer Kernkompetenzen. Wir haben viele verschiedene Keramikwerkstoffe (sowohl Standard- als auch Spezialmaterialien) in unterschiedlichen Reinheitsgraden im Angebot. Und wir garantieren wettbewerbsfähige Bearbeitungszeiten von der Bestellung bis zur Auslieferung.


Als Partner der Halbleiterindustrie bieten wir auch technische Überarbeitungen an:
  • Die Optimierung von keramischen Ersatzteilen gibt Chipherstellern die Möglichkeit, ihre Leistung zu erhöhen und die Kosten für Betriebsmittel zu senken.
  • Rekonstruktion von Originalteilen in Übereinstimmung mit Werkstoff- und Geometriespezifikationen


Das sind Ihre Vorteile, wenn Sie mit H.C. Starck Ceramics zusammenarbeiten:
  • Unabhängigkeit von Betriebsmittellieferanten
  • Lokale Beschaffung mit einem hohen Grad an Flexibilität und kurzen Reaktionszeiten